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[发明专利]面向分布式共享SPM的批量数据传输方法-CN201910910495.4在审
发明人：杨小川;文延华;李雁冰;方燕飞;董恩铭;漆锋滨 -专利权人：无锡江南计算技术研究所
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： H04L29/12 文献下载
摘要：本发明公开一种面向分布式共享SPM的批量数据传输方法，传输前读取SPM可用空间大小，若SPM的可用空间足够，执行下一步；将共享SPM起始目的地址转换为SPM局部地址，根据分布式共享SPM地址编址方法计算得到对应的物理SPM号和SPM内的局部地址；根据SPM局部地址计算对应物理SPM的可传输数据量，由所述SPM号对应线程发起批量数据传输，将批量数据从主存传输至物理SPM，传输的数据量spm_tran_len为spm_size_free_local和spm_size_free_total之间的最小值；数据传输完成后，更新下一轮传输的起始地址spm_addr_start=spm_addr_start+spm_tran_len，以及剩余总传输数据量spm_size_free_total=spm_size_free_total‑spm_tran_len；将在下一轮传输的中计算；当spm_size_free_total=0时，结束数据传输。本发明实现了共享SPM数据的批量传输，使用分布式共享SPM机制的功能更加完备，提升使用分布式SPM共享机制的计算机系统的可编程性和好用性。
面向分布式共享 spm 批量数据传输方法

[发明专利]一种在线SPM生成系统及其控制方法-CN201210246880.1有效
发明人：金海涛;徐飞;邬治国;沈健 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司
申请日： 2012-07-16 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：一种在线SPM生成系统及其控制方法，涉及专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备，尤其适用于集成电路工艺中光致抗蚀材料的剥离剂的处理，包括H2SO4供给单元，H2O2供给单元，SPM混合喷淋单元和控制单元，SPM混合喷淋单元包括SPM混合元件和SPM喷淋头；SPM混合元件包括至少两个输入端和一个SPM输出端，H2SO4流量控制元件通过H2SO4输送管路连接到SPM混合元件的第一输入端，H2O2流量控制元件通过H2O2输送管路连接到SPM混合元件的第二输入端，SPM混合元件的SPM输出端连接到SPM喷淋头。该系统控制精度高，流量值稳定，生成的SPM混合液混合比例准确，可调节范围宽，从而保证SPM混合液的活性范围广，可适用于各种不同的清洗工艺要求。
一种在线 spm 生成系统及其控制方法

[发明专利]嵌入式系统中基于SPM的指令缓冲的实现方法-CN200810062162.2无效
发明人：陈天洲;胡威;施青松;严力科;谢斌;黄江伟;章铁飞;冯德贵;项凌祥;陈剑 -专利权人：浙江大学
申请日： 2008-06-03 - 公布日： 2008-10-29 - 主分类号： G06F9/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种嵌入式系统中基于SPM的指令缓冲的实现方法。本发明的方法结合SPM位于嵌入式处理器片上的特点，对SPM的空间进行划分，将程序的指令驻留在SPM上。本发明实现了对SPM的有效使用，充分利用了SPM速度快的特点，提高了程序执行的效率。本发明实现了对SPM的有效使用，充分利用了SPM速度快的特点，提高了程序执行的效率；本发明对SPM的使用，有利于在运行时减少程序由于存储访问带来的能耗。
嵌入式系统基于 spm 指令缓冲实现方法

[实用新型]一种带预热功能的SPM机台-CN202221038498.7有效
发明人：林聪辉 -专利权人：泉州市三安集成电路有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带预热功能的SPM机台，包括SPM槽和用于对SPM槽进行加热的第一加热器，还包括预热模块，该预热模块与所述SPM槽相邻，使待清洁的产品在进入所述SPM槽前能经过所述预热模块进行预热。本实用新型增加预热模块，使衬底先预热后，再进入SPM槽作业，可以降低衬底的破片率。本实用新型的SPM机台实现了SPM预热、作业的一体化结构，提高了生产效率。
一种预热功能 spm 机台

[实用新型]冲床SPM定速装置-CN201520916686.9有效
发明人：周勇;张泰君;吕时广 -专利权人：浙江金澳兰机床有限公司
申请日： 2015-11-10 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： B30B15/14 文献下载
摘要：一种冲床SPM定速装置，包括PLC控制器、与冲床马达连接的变频器和用以自由调节SPM值的电位器，所述PLC控制器与所述变频器连接，所述电位器与所述变频器连接，所述冲床SPM定速装置还包括SPM锁定模块、密码保护模块和显示模块，所述SPM锁定模块与所述PLC控制器连接，所述PLC控制器分别与所述密码保护模块和显示模块连接，所述SPM锁定模块包括设定SPM模块和SPM自由调节模块。本实用新型提供一种防止他人随意调速、多档位、可调节的冲床SPM定速装置。
冲床 spm 装置

[发明专利]基板处理方法及基板处理装置-CN201910150857.4有效
发明人：林昌之;柴山宣之;远藤亨 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明提供一种向基板供给通过将硫酸与双氧水按照第一混合比混合而生成的第一SPM的基板处理方法及基板处理装置。在停止供给第一SPM后向基板供给第二SPM，该第二SPM是通过将硫酸与双氧水按照大于第一混合比的第二混合比混合而生成的。使从基板排出的第一SPM流入排液管道。并且使从基板排出的第二SPM流入回收管道。通过将双氧水与由回收管道引导的第二SPM中含有的硫酸混合来生成SPM。
处理方法装置

[发明专利]扫描探针显微镜（SPM）针尖-CN202180042023.7在审
发明人：贝伦·桑斯桑斯;曼努埃尔·埃斯皮诺萨罗德里格斯 -专利权人：奈克斯特-蒂普有限公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01Q70/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于对扫描探针显微镜(SPM)针尖进行改型的方法、能够通过该方法获得的经改型的SPM针尖、经改型的SPM针尖、经改型的SPM针尖的用途、包括经改型的SPM针尖的扫描探针以及该扫描探针的用途
扫描探针显微镜 spm 针尖

[发明专利]一种利用SPM废液对溶液进行加热的装置-CN201910293082.6在审
发明人：周至军;高英哲;张文福 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种利用SPM废液对溶液进行加热的装置，所述装置包括：水箱，其限定了容纳溶液的腔室；SPM管道，其穿过所述水箱的腔室，用于输送SPM废液；进液管，其与所述水箱的腔室连通，将待加热的溶液输送到所述水箱的腔室；以及出液管，其与所述水箱的腔室连通，将加热后的溶液从所述水箱的腔室排出；其中，所述SPM管道中的SPM废液与所述水箱的腔室中的溶液进行热交换，使得SPM废液被冷却，溶液被加热。本发明通过SPM废液和溶液例如DIW热传导传热，达到SPM废液降温和DIW升温的效果，使SPM废液剩余的热量实现最大限度利用，达到节能减排的目的。
废液水箱腔室加热连通热交换热传导传热节能减排溶液输送出液管进液管排出冷却穿过容纳

[发明专利]自动扫描探针显微镜系统中的精密探针部署-CN201580021412.6有效
发明人：詹森·奥斯本;埃里克·米利根;安德鲁·洛佩斯;罗伯特·伍;肖恩·汉德;弗拉基米尔·丰奥伯夫 -专利权人：布鲁克纳米公司
申请日： 2015-02-24 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G01Q10/06 文献下载
摘要：一种扫描探针显微镜(SPM)系统及相关方法。该SPM系统具有适于与样本的纳米级特征交互并在目标区域内扫描以产生那个目标区域的三维图像的探针，该系统根据样本特定坐标系来保持样本的多个关注特征的位置信息，其中SPM系统被配置为根据SPM坐标系来调整探针相对于样本的定位，SPM系统进一步被配置为通过确定样本特定坐标系和SPM坐标系之间的一组对准误差并且将校正应用到SPM坐标系以偏移所确定的对准误差，从而管理样本特定坐标系和SPM坐标系之间的动态关系。
自动扫描探针显微镜系统中的精密部署

[发明专利]盘驱动器中使用的用于驱动主轴马达的装置和方法-CN03136474.8无效
发明人：中林陽一 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2003-05-23 - 公布日： 2004-02-04 - 主分类号： G11B19/20 文献下载
摘要：在启动SPM(11)时，CPU(13)将SPM驱动器(12)设定为SPM启动模式。此时，电压选择器(126)将由电压调压器(125)升压后的一个电压(高电压)加到驱动器电路(127)上。在SPM启动模式期间，启动控制电路(123)控制其上加有高电压的所述驱动电路(127)来启动所述SPM(11)。当所述SPM(11)已经启动后，CPU(13)将SPM驱动器(12)设定为PWM模式。在PWM模式期间，PWM电路(124)控制其上加有低电压的所述驱动器电路(127)，以便使所述SPM(11)以额定速度旋转。
驱动器使用用于驱动主轴马达装置方法

[发明专利]基板处理方法以及基板处理装置-CN201410443035.2有效
发明人：根来世;村元僚;永井泰彦;大须贺勤;岩田敬次 -专利权人：斯克林集团公司
申请日： 2014-09-02 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：基板处理方法包括：SPM供给工序，将高温的SPM供给到基板的上表面；DIW供给工序，在SPM供给工序之后，通过将室温的DIW供给到基板的上表面，来冲洗残留在基板上的液体；双氧水供给工序，在SPM供给工序后且在DIW供给工序前，在SPM残留在基板上的状态下，将液温比SPM的温度低且在室温以上的双氧水供给到基板的上表面。
处理方法以及装置

[发明专利]基板处理方法以及基板处理装置-CN201910630061.9有效
发明人：根来世;村元僚;永井泰彦;大须贺勤;岩田敬次 -专利权人：斯克林集团公司
申请日： 2014-09-02 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板处理方法包括：SPM供给工序，将高温的SPM供给到基板的上表面；DIW供给工序，在SPM供给工序之后，通过将室温的DIW供给到基板的上表面，来冲洗残留在基板上的液体；双氧水供给工序，在SPM供给工序后且在DIW供给工序前，在SPM残留在基板上的状态下，将液温比SPM的温度低且在室温以上的双氧水供给到基板的上表面。
处理方法以及装置

[发明专利]基于异构多核平台的加速核虚拟便笺存储器的方法-CN201310186971.5无效
发明人：陈天洲;潘平;袁明敏;孟静磊;吴斌斌 -专利权人：浙江大学
申请日： 2013-05-20 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： G06F13/16 文献下载
摘要：包括如下步骤：1）将共享L2Cache逻辑上划分成普通L2Cache和虚拟SPM两部分；2）设置一个虚拟SPM的访问接口；3）重新设置普通L2Cache和虚拟SPM的替换策略；4）对虚拟SPM和内存进行统一编址；5）定义虚拟SPM空间请求和释放的MIPS汇编指令。本方法通过对异构多核平台的存储cache子系统进行部分优化，使得通用处理核与加速核之间的数据交互不再通过内存完成，而是在虚拟SPM中实现数据共享来完成。同时，虚拟SPM可以部分替代加速核的SPM，可以节省加速核本身的SPM大小，减小硬件开销的成本。
基于多核平台加速虚拟便笺存储器方法

[实用新型]基于虚存机制的指令片上异构存储资源动态分配的电路-CN200920282530.4无效
发明人：凌明;张阳;梅晨;王欢;武建平;李冰 -专利权人：东南大学
申请日： 2009-12-25 - 公布日： 2010-09-01 - 主分类号： G06F12/08 文献下载
摘要：一种基于虚存机制的指令片上异构存储资源动态分配的电路，处理器内核发出对指令访问的虚拟地址，经过内存管理单元(MMU)转换为物理地址后，根据其旁路转换缓冲TLB的标志位状态，进过指令部分路由器，将物理地址发送到指令Cache及指令SPM控制器两者之一；如果指令SPM控制器接收物理地址，则对物理地址译码后访问指令SPM存储器；时钟模块在时钟中断时发出中断信号，由中断控制器响应，在中断处理程序中使用指令SPM控制器；指令SPM控制器包含一块SPM区域寄存器，指令SPM控制器根据SPM区域寄存器的信息，配置DMA控制器的源地址、目的地址以及搬运长度，DMA控制器经过高速AHB总线和外部存储器接口，根据片外主存SDRAM中的程序内容对指令SPM存储器中的内容进行更改，指令SPM控制器同时配置时钟模块的长度信息并使能时钟模块。
基于机制指令片上异构存储资源动态分配电路

[发明专利]SPM药液升温方法-CN202011540470.9有效
发明人：弓琴琴;刘宁;王泽飞;宋振伟;张守龙;金新 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种SPM药液升温方法，针对湿法刻蚀机台的SPM溶液槽的控温。在对SPM溶液进行升温过程时，采用分段升温方式，先采用升温速率V1将SPM溶液快速升温至90～110℃后进行短时间保温过程，使SPM溶液槽的加热头加热功率降低；然后再使用升温速率V2将SPM溶液温度从90
spm 药液升温方法

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